삼성전자1 EUV 란? 삼성전자, TSMC등 업체별 보유현황 정리' 1. EUV란? EUV(Extreme Ultraviolet)란 극자외선이라 불리는 짧은 파장(13.5nm)의 빛을 이용하는 리소그래피 기술로, 반도체 원판인 웨이퍼에 회로패턴을 새기는 반도체 장비에 사용됩니다. 파장이 짧아 현재 사용중인 불화아르곤(ArF) 노광장비로는 불가능했던 7nm이하의 초미세공정을 가능케 하는 장비입니다. 한마디로 7nm이하 초미세공정에서 사용되는 장비입니다. 2. EUV 작동원리 기본적인 원리는 물리적으로 반도체칩에 회로를 그리는 것이 아니라 광선을 이용해 회로를 그려넣는 것입니다. 투자자로서 이 정도 이해하는 것으로 만족해야 겠습니다. 리포트에 나와있는 작동원리를 소개합니다. 투자자로서 한번 참고하면 좋겠네요. 3. EUV 보급현황 EUV는 네덜란드의 리소그래피 장비 전문업체에.. 2021. 4. 28. 이전 1 다음
